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Fabricação e caracterização de dispositivos eletroluminescentes de nitreto de silício depositado por sputtering reativo

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Fabricação e caracterização de dispositivos eletroluminescentes de nitreto de silício depositado por sputtering reativo

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Título Fabricação e caracterização de dispositivos eletroluminescentes de nitreto de silício depositado por sputtering reativo
Autor Rodrigues, Frâncio Souza Berti
Orientador Boudinov, Henri Ivanov
Data 2015
Nível Graduação
Instituição Universidade Federal do Rio Grande do Sul. Instituto de Física. Curso de Engenharia Física.
Assunto Eletroluminescencia
Elipsometria
Filmes finos
Fotoluminescencia
Retroespalhamento rutherford
Silicio
Resumo Dispositivos foto e eletroluminescentes com filmes finos de nitreto de silício não estequiométrico (SiNx) depositados por sputtering reativo sobre substrato de Si foram fabricados e caracterizados. A arquitetura dos dispositivos é composta por um substrato de Si coberto pelo filme de SiNx e os contatos são de óxido de índio estanho (ITO), dielétrico transparente e condutivo que permite experimentos de caracterização óticos e elétricos. Amostras com filmes de espessura e composições diferentes foram caracterizadas com técnicas de elipsometria ótica, retroespalhamento de Rutherford (RBS), medidas elétricas, fotoluminescência e eletroluminescência. As medidas elétricas nos permitiram concluir que diversos dispositivos que falharam apresentavam resistências muito altas para a injeção de portadores necessária ao fenômeno de eletroluminescência. Transições previstas teoricamente para o SiNx foram identificadas nos experimentos de fotoluminescência. Os experimentos de eletroluminescência foram realizados com tensão e corrente contínua e alternada. Observou-se que os espectros de emissão por eletroluminescência e de fotoluminescência são bastante distintos, revelando que as transições causadas por excitação ótica e elétrica não são as mesmas. A polaridade aplicada no dispositivo também influenciou nos espectros de emissão e as medidas AC revelaram-se uma superposição de ambas as polaridades possíveis.
Tipo Trabalho de conclusão de graduação
URI http://hdl.handle.net/10183/132071
Arquivos Descrição Formato
000982811.pdf (1.990Mb) Texto completo Adobe PDF Visualizar/abrir

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