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Efeito de Pré-Tratamentos de Superfícies Semicondutoras na Deposição por ALD

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Efeito de Pré-Tratamentos de Superfícies Semicondutoras na Deposição por ALD

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Evento Salão de Iniciação Científica (27. : 2015 out. 19-23 : UFRGS, Porto Alegre, RS).
Título Efeito de Pré-Tratamentos de Superfícies Semicondutoras na Deposição por ALD
Autor Treviso, Alex
Orientador Stedile, Fernanda Chiarello
Sessão Processamento e análise de materiais
Temática Processamento e análise de materiais
Assunto Ciências exatas e da terra
Física
Tipo Resumo publicado em evento
URI http://hdl.handle.net/10183/136546
Arquivos Descrição Formato
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