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dc.contributor.advisorStedile, Fernanda Chiarellopt_BR
dc.contributor.authorTreviso, Alexpt_BR
dc.date.accessioned2016-04-12T17:54:04Zpt_BR
dc.date.issued2015pt_BR
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10183/136546pt_BR
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isoporpt_BR
dc.rightsOpen Accessen
dc.titleEfeito de Pré-Tratamentos de Superfícies Semicondutoras na Deposição por ALDpt_BR
dc.typeResumo publicado em eventopt_BR
dc.contributor.eventSalão de Iniciação Científica (27. : 2015 out. 19-23 : UFRGS, Porto Alegre, RS).pt_BR
dc.subject.sessionProcessamento e análise de materiaispt_BR
dc.subject.themeProcessamento e análise de materiaispt_BR
dc.subject.cnpqCiências exatas e da terrapt_BR
dc.type.presentationApresentação oralpt_BR
dc.description.number5pt_BR
dc.identifier.sic41501pt_BR
dc.subject.macroFísicapt_BR


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