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Analytical energy loss distribution for accurate high resolution depth profiling using medium energy ion scattering

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Analytical energy loss distribution for accurate high resolution depth profiling using medium energy ion scattering

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Título Analytical energy loss distribution for accurate high resolution depth profiling using medium energy ion scattering
Autor Pezzi, Rafael Peretti
Krug, Cristiano
Grande, Pedro Luis
Rosa, Elisa Brod Oliveira da
Schiwietz, Gregor
Baumvol, Israel Jacob Rabin
Abstract An analytical approach to ion energy loss distributions capable of simplifying medium energy ion scattering MEIS spectral analysis is presented. This analytical approach preserves the accuracy of recent numerical models that evaluate energy loss effects overlooked by standard calculations based on the Gaussian approximation. Results are compared to first principle calculations and experimental MEIS spectra from 0.2- to 1.5-nm-thick HfO2 films on Si, supporting the application of this analytical model for proton scattering in the kinetic energy range from 100 to 200 keV.
Contido em Applied physics letters. Vol. 92, no. 16 (Apr. 2008), 164102, 3p.
Assunto Perda de energia de particulas
Retroespalhamento
Silicio
Origem Estrangeiro
Tipo Artigo de periódico
URI http://hdl.handle.net/10183/141710
Arquivos Descrição Formato
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