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Low temperature aging effects on the formation of Sn nanoclusters in SiO/sub 2/Si films and interfaces

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Low temperature aging effects on the formation of Sn nanoclusters in SiO/sub 2/Si films and interfaces

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Título Low temperature aging effects on the formation of Sn nanoclusters in SiO/sub 2/Si films and interfaces
Autor Kremer, Felipe
Lopes, João Marcelo Jordão
Zawislak, Fernando Claudio
Fichtner, Paulo Fernando Papaleo
Abstract The formation of Sn nanocrystals NCs in ion implanted SiO2 /Si films is investigated using Rutherford backscattering spectrometry and transmission electron microscopy. Low temperature and long time aging treatments followed by high temperature thermal annealings lead to the formation of a dense bidimensional NC array located at the SiO2 /Si interface. This behavior is discussed considering the formation of small Sn clusters with a significantly improved thermal stability. The present experimental results are in good agreement with recent theoretical predictions that small Sn clusters can have their melting temperature enhanced in more than 1000 °C.
Contido em Applied physics letters. Vol. 91, no. 8 (Aug. 2007), 083102, 3 p.
Assunto Baixas temperaturas
Filmes finos metalicos
Nanocristais
Origem Estrangeiro
Tipo Artigo de periódico
URI http://hdl.handle.net/10183/141779
Arquivos Descrição Formato
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