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High resolution profiling using ion scattering and resonant nuclear reactions

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High resolution profiling using ion scattering and resonant nuclear reactions

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Evento Characterizations and Metrology for ULSI Technology ( 2005 : Richardson, Texas)
Título High resolution profiling using ion scattering and resonant nuclear reactions
Autor Pezzi, Rafael Peretti
Wallace, Robert M.
Copel, Matthew
Baumvol, Israel Jacob Rabin
Contido em AIP conference proceedings. New York
Assunto Circuitos integrados
Eletrônica
[en] Depth profiling
[en] Medium energy ion scattering
[en] Resonant nuclear reaction analysis
Origem Estrangeiro
Tipo Trabalho completo publicado em evento
URI http://hdl.handle.net/10183/144010
Arquivos Descrição Formato
000560098.pdf (1.088Mb) Texto completo (inglês) Adobe PDF Visualizar/abrir

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