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Obtencao de filmes dieletricos para aplicacoes oticas com monitoracao otica de espessura

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Obtencao de filmes dieletricos para aplicacoes oticas com monitoracao otica de espessura

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Título Obtencao de filmes dieletricos para aplicacoes oticas com monitoracao otica de espessura
Autor Hickmann, Jandir Miguel
Orientador Francke Sandoval, Ricardo Eugenio
Data 1988
Nível Mestrado
Instituição Universidade Federal do Rio Grande do Sul. Instituto de Física. Curso de Pós-Graduação em Física.
Assunto Filmes finos
Filmes finos dieletricos
Fisica de laser
Otica
Resumo Foi construído um sistema ótico para controlar a espessura de filmes finos num evaporador de alto vácuo. Foi medida a reflexão "in situ" de um filme fino depositado num substrato apropriado. O cálculo da transmissividade e refletividade de filmes dielétricos, divisores de feixes e filtros também é descrito. O problema inverso, que é obter um filme com propiedades de reflexão e/ou transmissão pré-determinadas também é analisado. Também são dados programas que calculam as propriedades de um filme fino e os desenham. Finalmente é descrita a fabricação de espelhos dielétricos para um Fabry-Per,ot e um divisor de feixe no evaporador de alto vácuo.
Abstract An optical monitoring system was built to control the thickness of thin film in a high vacuum evaporator. In this system we measured the in-situ reflection from a thin film deposited on an appropriate substrate. The calculation of the transmission and reflection from a multilayer thin film as used in dielectric mirrors, beam splitlers and filters is also described. The inverse problem, that is to obtain a film with predetermined reflection and trasmissiom, is also studied. Computer program for calculating thin film and designing them are also given. Finally we describe the fabrication of Fabry-Perot dielectric mirrors and a beam-splitter in our high vacuum evaporator.
Tipo Dissertação
URI http://hdl.handle.net/10183/165876
Arquivos Descrição Formato
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