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Análise por feixes de íons de filmes finos dielétricos depositados por sputtering reativo e crescidos termicamente

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Análise por feixes de íons de filmes finos dielétricos depositados por sputtering reativo e crescidos termicamente

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Título Análise por feixes de íons de filmes finos dielétricos depositados por sputtering reativo e crescidos termicamente
Autor Stedile, Fernanda Chiarello
Orientador Schreiner, Wido Herwig
Co-orientador Freire Junior, Fernando Lazaro
Data 1993
Nível Doutorado
Instituição Universidade Federal do Rio Grande do Sul. Instituto de Física. Curso de Pós-Graduação em Física.
Assunto Filmes finos
Filmes finos dieletricos
Fisica da materia condensada
Química : Materiais
Sputtering
Resumo Esta tese trata de filmes finos de materiais dielétricos depositados por sputtering reativo e crescidos termicamente que são analisados por métodos de feixes de íons. Como introdução aos nossos trabalhos, são abordados os princípios da deposição por sputtering com corrente contínua, com rádio-freqüências e em atmosferas reativas. Além disso, são apresentados os princípios de crescimento térmico em fornos clássicos e em fornos de tratamento térmico rápido. Também são descritos em detalhe os métodos análiticos de espectropia de retroespalhamento Rutheford e reações nucleares ressonantes e não-ressonantes para medir as quantidades totais e os perfis de concentração em função da profundidade dos vários isótopos utilizados, bem como o método de difração de raios-X. No que concerne à deposição por sputtering reativo de filmes finos de nitreto de silicio, nitreto de alumínio e nitreto duplo de titânio e alumínio, são estudados os processos de deposição, são caracterizados os filmes desses materiais e são estabelecidas correlações entre características dos filmes e os parâmetros de deposição. Quanto ao crescimento térmico em atmosferas reativas de filmes muito finos de óxido, nitreto e oxinitreto de sílicio, são apresentados modelos para o crescimento dos filmes de óxido de sílicio, é estudada a influência da limpeza do substrato de sílicio nos mecanismos de crescimento dos filmes de óxido de sílicio e são elucidados aspectos dos mecanismos de nitretação térmica do sílicio e de filmes de óxido de sílicio.
Tipo Tese
URI http://hdl.handle.net/10183/1832
Arquivos Descrição Formato
000220240.pdf (41.12Mb) Texto completo Adobe PDF Visualizar/abrir

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