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http://hdl.handle.net/10183/5484
Título | Avanços na determinação da distribuição em profundidade de elementos leves com resolução subnanométrica utilizando reações nucleares ressonantes |
Autor |
Pezzi, Rafael Peretti
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Orientador |
Baumvol, Israel Jacob Rabin
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Data | 2004 |
Nível | Mestrado |
Instituição | Universidade Federal do Rio Grande do Sul. Instituto de Física. Curso de Pós-Graduação em Física. |
Assunto |
Feixes de íons
Filmes finos Plasmas Reações de ressonância nuclear Silicio Termodinâmica |
Resumo | A utilização de reações nucleares ressonantes estreitas em baixas energias é uma ferramenta importante para a determinação de distribuições de elementos leves em filmes finos com resolução em profundidade subnanométrica. O objetivo do trabalho descrito ao longo da presente dissertação é aprimorar os métodos utilizados para a aquisição e interpretação das curvas experimentais. A obtenção das curvas experimentais consiste na detecção dos produtos das reações nucleares em função da energia das partículas incidentes, fazendo necessária variar a energia das partículas do feixe em passos discretos no intervalo desejado. Neste trabalho implementou-se um sistema automático para o controle e incremento da energia do feixe e monitoramento dos produtos das reações nucleares. Esse sistema de varredura automático de energia, além de aumentar consideravelmente a velocidade da medida, aumenta a qualidade das curvas experimentais obtidas. Para a interpretação das curvas de excitação experimentais, foi implementado um programa em linguagem de programação C, baseado na teoria estocástica, que permite simular numericamente as curvas de excitação. Para demonstrar a sua funcionalidade o método desenvolvido foi aplicado para verificar a estabilidade termodinâmica de filmes dielétricos ultrafinos depositados sobre silício, que foram posteriormente nitretados por plasma. |
Tipo | Dissertação |
URI | http://hdl.handle.net/10183/5484 |
Arquivos | Descrição | Formato | |
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