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Avanços na determinação da distribuição em profundidade de elementos leves com resolução subnanométrica utilizando reações nucleares ressonantes

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Avanços na determinação da distribuição em profundidade de elementos leves com resolução subnanométrica utilizando reações nucleares ressonantes

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dc.contributor.advisor Baumvol, Israel Jacob Rabin pt
dc.contributor.author Pezzi, Rafael Peretti pt
dc.date.accessioned 2007-06-06T18:47:34Z pt
dc.date.issued 2004 pt
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/10183/5484 pt
dc.description.abstract A utilização de reações nucleares ressonantes estreitas em baixas energias é uma ferramenta importante para a determinação de distribuições de elementos leves em filmes finos com resolução em profundidade subnanométrica. O objetivo do trabalho descrito ao longo da presente dissertação é aprimorar os métodos utilizados para a aquisição e interpretação das curvas experimentais. A obtenção das curvas experimentais consiste na detecção dos produtos das reações nucleares em função da energia das partículas incidentes, fazendo necessária variar a energia das partículas do feixe em passos discretos no intervalo desejado. Neste trabalho implementou-se um sistema automático para o controle e incremento da energia do feixe e monitoramento dos produtos das reações nucleares. Esse sistema de varredura automático de energia, além de aumentar consideravelmente a velocidade da medida, aumenta a qualidade das curvas experimentais obtidas. Para a interpretação das curvas de excitação experimentais, foi implementado um programa em linguagem de programação C, baseado na teoria estocástica, que permite simular numericamente as curvas de excitação. Para demonstrar a sua funcionalidade o método desenvolvido foi aplicado para verificar a estabilidade termodinâmica de filmes dielétricos ultrafinos depositados sobre silício, que foram posteriormente nitretados por plasma. pt
dc.format.mimetype application/pdf
dc.language.iso por pt
dc.rights Open Access en
dc.subject Reações de ressonância nuclear pt
dc.subject Filmes finos pt
dc.subject Termodinâmica pt
dc.subject Silicio pt
dc.subject Plasmas pt
dc.subject Feixes de íons pt
dc.title Avanços na determinação da distribuição em profundidade de elementos leves com resolução subnanométrica utilizando reações nucleares ressonantes pt
dc.type Dissertação pt
dc.identifier.nrb 000427044 pt
dc.degree.grantor Universidade Federal do Rio Grande do Sul pt
dc.degree.department Instituto de Física pt
dc.degree.program Curso de Pós-Graduação em Física pt
dc.degree.local Porto Alegre, BR-RS pt
dc.degree.date 2004 pt
dc.degree.level mestrado pt

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