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Determinação da posição reticular de F em Si

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Determinação da posição reticular de F em Si

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Título Determinação da posição reticular de F em Si
Autor Bernardi, Fabiano
Orientador Santos, Jose Henrique Rodrigues dos
Co-orientador Behar, Moni
Data 2006
Nível Mestrado
Instituição Universidade Federal do Rio Grande do Sul. Instituto de Física. Programa de Pós-Graduação em Física.
Assunto Amorfizacao
Difusao
Espectroscopia de retroespalhamento Rutheford - RBS
Fisica da materia condensada
Fluor
Implantacao de ions
Impurezas
Silicio
Resumo Neste trabalho, estudamos a posição de átomos de F na estrutura cristalina do Si. As amostras foram pré-amorfizadas utilizando um feixe de Si de 200 keV e, após, implantadas com F. Então recristalizamos a camada amorfa através do processo de Epitaxia de Fase Sólida (EFS). Empregamos as técnicas de Espectrometria de Retroespalhamento Rutherford, na condição de canalização iônica, e de Análise por Reação Nuclear (NRA), através da reação ressonante ( ) O p F 16 19 , αγ , à 5 , 340 keV, para determinar a posição dos átomos de F e, depois, reproduzimos os resultados experimentais através do programa de simulação computacional chamado Simulação Adaptada de Canalização de Íons Rápidos em Sólidos (CASSIS - Channeling Adapted Simulation of Swift Ions in Solids). Os resultados obtidos apontam para duas possíveis combinações lineares distintas de sítios. Uma delas concorda com a proposta teórica de Hirose et al. (Materials Science & Engineering B – 91-92, 148, 2002), para uma condição experimental similar. Nessa configuração, os átomos de F estão na forma de complexos entre átomos de flúor e vacâncias (F-V). A outra combinação ainda não foi proposta na literatura e também pode ser pensada como um tipo de complexo F-V.
Tipo Dissertação
URI http://hdl.handle.net/10183/5727
Arquivos Descrição Formato
000518814.pdf (1.139Mb) Texto completo Adobe PDF Visualizar/abrir

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