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Caracterização elétrica de estruturas metal/dielétrico high-k/Si

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Caracterização elétrica de estruturas metal/dielétrico high-k/Si

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Título Caracterização elétrica de estruturas metal/dielétrico high-k/Si
Autor Palmieri, Rodrigo
Orientador Boudinov, Henri Ivanov
Data 2005
Nível Mestrado
Instituição Universidade Federal do Rio Grande do Sul. Instituto de Física. Programa de Pós-Graduação em Física.
Assunto Aquecimento dielétrico
Deposição a vapor
Fisica da materia condensada
Háfnio
Mocvd
Mos
Nitrogenio
Oxigenio
Sputtering
Zirconio
Resumo Foram estudadas as propriedades elétricas de estruturas MOS envolvendo materiais com Zr e Hf: Al/HfO2/Si, Al/HfAlO/Si, Al/ZrO2/Si e Al/ZrAlO/Si depositadas por JVD (Jet Vapor Deposition) submetidas a diferentes doses de implantação de nitrogênio e tratamentos térmicos; Au/HfO2/Si e Au/HfxSiyOz/Si preparadas por MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) e Au/HfxSiyOz/SiO2/Si preparadas por sputtering reativo em O2 submetidas a tratamentos térmicos distintos. Para isso, além das medidas de C-V e I-V padrão, foi desenvolvido o método da condutância para estudo da densidade de estados na interface dielétrico/Si, o qual mostrou-se mais viável para as estruturas com dielétricos alternativos. A inclusão de Al na camada de dielétrico, bombardeamento por íons de nitrogênio, e tratamentos térmicos rápidos em atmosferas de O2 e N2 foram responsáveis por mudanças nas propriedades das amostras. Diversos mecanismos físicos que influenciam as propriedades elétricas dessas estruturas foram identificados e discutidos. Foi constatado que as interfaces com menores densidades de estados foram as das amostras preparadas por MOCVD e sputtering reativo.
Tipo Dissertação
URI http://hdl.handle.net/10183/6062
Arquivos Descrição Formato
000524283.pdf (2.389Mb) Texto completo Adobe PDF Visualizar/abrir

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