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Estudo e caracterização de processos de fabricação de microsistemas integrados (MEMS)

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Estudo e caracterização de processos de fabricação de microsistemas integrados (MEMS)

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Evento Salão de iniciação Científica (13. : 2001 out. 22-26 : UFRGS, Porto Alegre, RS).
Título Estudo e caracterização de processos de fabricação de microsistemas integrados (MEMS)
Autor Vassoler, Jakson Manfredini
Franzner, Savio
Iturrioz, Ignacio
Fonseca, Jun Sergio Ono
Ribas, Renato Perez
Contido em Salão de Iniciação Científica (13. : 2001 : Porto Alegre). Livro de resumos. Porto Alegre : UFRGS, 2001.
Sessão Engenharia – Simulação e Modelagem I
Assunto Engenharias
Engenharia mecânica
Tipo Resumo publicado em evento
URI http://hdl.handle.net/10183/76946
Arquivos Descrição Formato
000317009.pdf (10.10Kb) Resumo Adobe PDF Visualizar/abrir

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