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Estrutura do InP amorfo obtido por implantação iônica

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Estrutura do InP amorfo obtido por implantação iônica

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Título Estrutura do InP amorfo obtido por implantação iônica
Autor Antonio, Viviane Peçanha
Orientador Azevedo, Gustavo de Medeiros
Data 2012
Nível Graduação
Instituição Universidade Federal do Rio Grande do Sul. Instituto de Física. Curso de Pesquisa Básica: Bacharelado.
Assunto Amorfizacao
Espectros de absorção de raios-x
EXAFS
Implantacao ionica
Semicondutores
Resumo O objetivo deste trabalho é estudar a estrutura local de semicondutores amofizados via implantação iônica. Utilizaremos a região de EXAFS de espectros de absorção de raios-x para identificar as modificações induzidas nos materiais devido ao processo de amorfização, como o surgimento de ligações homopolares, mudanças nos números de coordenação e na distribuição estatística de distâncias interatômicas. Além disso, analisaremos os defeitos relacionados ao processo de relaxação estrutural decorrente do surgimento de configurações metaestáveis na estrutura do semicondutor, com base em medições de EXAFS na amostra tratada termicamente em temperaturas diferentes, até sua consequente recristalização. Por fim, queremos saber como a urgência de implantação influência o grau de amorfização das amostras.
Abstract The aim of this work is to study the local structure of binary semiconductors amorphised by ion implantation. We use EXAFS spectra to identify structural disorder induced by ion-implantation into the material, such as homopolar bonding, under/overcoordination and the broadening of the distribution of interatomic distances. In addition, we analyze the defects associated with the structural relaxation resulting from con gurations with different metastabilities on semiconductor structure, based on EXAFS measurements of the annealed sample at di erent temperatures up to its consequent recrystallization. Finally, we want to characterize how the implantation uence in uences the degree of amorphisation of the samples.
Tipo Trabalho de conclusão de graduação
URI http://hdl.handle.net/10183/77897
Arquivos Descrição Formato
000897983.pdf (2.191Mb) Texto completo Adobe PDF Visualizar/abrir

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