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Simulador de corrosão de substrato usando técnica front-side para fabricação de MEMS em Java

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Simulador de corrosão de substrato usando técnica front-side para fabricação de MEMS em Java

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Evento Salão de iniciação Científica (14. : 2002 dez. 2-6 : UFRGS, Porto Alegre, RS).
Título Simulador de corrosão de substrato usando técnica front-side para fabricação de MEMS em Java
Autor Konzen, Anderson
Martinazzo, Fábio
Togni, João D.
Ribas, Renato P.
Orientador Reis, André I.
Contido em Salão de iniciação Científica (14. : 2002 : Porto Alegre, RS). Livro de resumos. Porto Alegre : UFRGS, 2002.
Sessão Microeletrônica ii
Assunto Ciências exatas e da terra
Tipo Resumo publicado em evento
URI http://hdl.handle.net/10183/82232
Arquivos Descrição Formato
Resumo_20020311.pdf (12.63Kb) Resumo Adobe PDF Visualizar/abrir

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