Browsing Physics by Subject "Deposicao de filmes finos"
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Deposição, caracterização e aplicação de filmes nanoestruturados de ZnO : biossensores de glicose e ureia
(2014) [Thesis]Este trabalho foi dedicado à produção e caracterização de filmes nanoestruturados de ZnO, depositado pelo método CBD (Chemical Bath Deposition). Trata-se de um método atrativo por ser simples, de baixo custo, por permitir ... -
Estudo das modificações microestruturais e mecânicas de filmes de a-C:H, a-C:N:H: e a-C:F:H irradiados com íons de N/sup +/ e Xe/sup ++/
(2007) [Thesis]Nesse trabalho foram estudados os efeitos da irradiação iônica em filmes de carbono amorfo hidrogenado, sem (a-C:H) e com a presença de N e F (a-C:N:H e a-C:F:H, respectivamente). Os filmes foram crescidos através da técnica ... -
Filmes finos dielétricos para a tecnologia do silício : processamento térmico e caracterização
(2003) [Thesis]O rápido avanço tecnológico coloca a tecnologia do Si diante de um grande desafio: substituir o dielétrico de porta utilizado por mais de 40 anos em dispositivos MOSFET (transistor de efeito de campo metal-óxido-semicondutor), ... -
Nucleação e crescimento de filmes de diamante em substratos de zircônia parcialmente estabilizada
(2006) [Thesis]Neste trabalho foi investigado o processo de deposição de filmes auto-sustentados de diamante por deposição química a vapor (CVD) sobre substrato de zircônia parcialmente estabilizada com ítria (Zr02 PE). O objetivo principal ...