Navegação Física por Assunto "Feixes de íons"
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Transporte atômico e incorporação de oxigênio em filmes de HfSiO e HfSiON depositados sobre Si
(2004) [Dissertação]Esse trabalho estuda a estabilidade térmica e o transporte atômico em filmes dielétricos de HfSiO e HfSiON depositados por sputtering reativo sobre c-Si. Esses materiais possuem alta constante dielétrica (high- ) e são ... -
Uso da técnica de cartografia-MEIS para a determinação da deformação no parâmetro de rede em filmes finos
(2016) [Tese]A caracterização do strain (deformação) em estruturas cristalinas em filmes finos semicondutores apresenta importantes aplicações tecnológicas, como por exemplo: a formação de defeitos, modificação da estrutura das bandas ... -
Versatilidade da técnica MEIS na caracterização de nanomateriais e dispositivos avançados
(2019) [Tese]A nanotecnologia está presente em diversos setores industriais como cosmético, automotivo, telecomunicação, saúde, alimentação, entre outros. O número de publicações e patentes associadas à nanotecnologia cresce a cada ano ...