Navegação Física por Assunto "Óxido de alumínio"
Resultados 1-1 de 1
-
Propriedades físico-químicas de filmes finos de Al2O3 depositados por sputtering sobre Ge
(2011) [Dissertação]Nesta dissertação, foram investigadas as propriedades físico-químicas de filmes finos de óxido de alumínio (Al2O3). O Al2O3 foi depositado sobre substratos germânio (Ge) e silício (Si) por magnetron sputtering reativo, ...