Estabilidade térmica de nanofilmes dielétricos depositados em silício

dc.contributor.author	Soares, Gabriel Vieira	pt_BR
dc.contributor.author	Morais, Jonder	pt_BR
dc.contributor.author	Baumvol, Israel Jacob Rabin	pt_BR
dc.contributor.author	Pezzi, Rafael Peretti	pt_BR
dc.contributor.author	Miotti, Leonardo	pt_BR
dc.date.accessioned	2012-10-11T01:36:06Z	pt_BR
dc.date.issued	2002	pt_BR
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10183/56307	pt_BR
dc.format.mimetype	application/pdf	pt_BR
dc.language.iso	por	pt_BR
dc.relation.ispartof	Salão de Iniciação Científica (14. : 2002 : Porto Alegre). Livro de resumos. Porto Alegre : UFRGS, 2002.	pt_BR
dc.rights	Open Access	en
dc.subject	Física	pt_BR
dc.title	Estabilidade térmica de nanofilmes dielétricos depositados em silício	pt_BR
dc.type	Resumo publicado em evento	pt_BR
dc.contributor.event	Salão de iniciação Científica (14. : 2002 dez. 2-6 : UFRGS, Porto Alegre, RS).	pt_BR
dc.identifier.nrb	000348002	pt_BR
dc.subject.session	Física V	pt_BR
dc.subject.cnpq	Ciências exatas e da terra	pt_BR
dc.description.number	216	pt_BR
dc.type.origin	Nacional	pt_BR

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