Listar Microelectrónica por autor "Ferla, Tania Mara"
Mostrando ítems 1-1 de 1
-
Simulação litográfica
Ferla, Tania Mara (2014) [Tesis de maestría]Litografia óptica é o processo pelo qual os padrões desenhados pelos projetistas de circuitos integrados são transferidos para o wafer através de ondas de luz. Com a miniaturização dos componentes, aumenta cada vez mais a ...