Navegação Microeletrônica por Assunto "Ion beam analysis"
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Materiais semicondutores alternativos ao silício : passivação do germânio e síntese de dissulfeto de molibdênio
(2020) [Tese]Nas últimas décadas a indústria da microeletrônica evoluiu rapidamente. Atualmente, novos materiais semicondutores têm sido pesquisados para substituir o Si em dispositivos. No presente trabalho, foram estudados o processamento ... -
Processamento térmico de grafeno e sua síntese pela técnica de epitaxia por feixes moleculares
(2018) [Tese]O grafeno é um material que apresenta propriedades físicas e químicas superiores aos materiais tradicionalmente utilizados na fabricação de diferentes dispositivos. Porém, para substituir tais materiais, é imprescindível ... -
Sulfurização de filmes de WO3 visando à obtenção do material semicondutor bidimensional WS2
(2021) [Dissertação]The subject of this work is the study of the WS2 growth process, by sulfurization of a sputter-deposited WO3 film, on silicon oxide (SiO2). The influence of different growth parameters will be discussed and demonstrated, ...