Browsing Physics by Subject "Vacancy"
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Redistribuição e ativação de dopantes em Si com excesso de vacâncias
(2008) [Thesis]A redistribuição e ativação elétrica dos dopantes tipo n (As e Sb) e tipo p (Ga e In) em Si com excesso de vacâncias foram analisadas. As vacâncias foram geradas por implantação iônica de altas doses de oxigênio ou nitrogênio ...