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Characterization of metal oxide-based gas nanosensors and microsensors fabricated via local anodic oxidation using atomic force microscopy

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Characterization of metal oxide-based gas nanosensors and microsensors fabricated via local anodic oxidation using atomic force microscopy

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Título Characterization of metal oxide-based gas nanosensors and microsensors fabricated via local anodic oxidation using atomic force microscopy
Autor Archanjo, Braulio Soares
Fernández Siles, Pablo Roberto
Oliveira, Camilla K. B. Q. M.
Baptista, Daniel Lorscheitter
Neves, Bernardo Ruegger Almeida
Abstract Thiswork reports on nanoscale and microscalemetal oxide gas sensors, consisting ofmetal-semiconductor-metal barriers designed via scanning probe microscopy. Two distinctmetal oxides, molybdenum and titaniumoxides, were tested at different temperatures using CO2 and H2 as test gases. Sensitivities down to ppm levels are demonstrated, and the influence of dry and humid working atmospheres on these metal oxide conductivities was studied. Furthermore, the activation energy was evaluated and analyzed within working sensor temperature range. Finally, full morphological, chemical, and structural analyses of the oxides composites are provided allowing their identification as MoO3 and TiO2−𝑥x.
Contido em Advances in materials science and engineering. New York. Vol. 2013 (2013), 898565, 13
Assunto Anodização
Compostos de molibdênio
Compostos de titânio
Microfabricação
Microscopia de força atômica
Nanocompósitos
Nanofabricação
Nanoparticulas
Sensibilidade (Física)
Origem Estrangeiro
Tipo Artigo de periódico
URI http://hdl.handle.net/10183/89697
Arquivos Descrição Formato
000908994.pdf (7.421Mb) Texto completo (inglês) Adobe PDF Visualizar/abrir

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