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Nitretação de filmes de SiO2 sobre SiC

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Nitretação de filmes de SiO2 sobre SiC

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Evento Salão de iniciação Científica (11. : 1999 out. 25-29 : UFRGS, Porto Alegre, RS).
Título Nitretação de filmes de SiO2 sobre SiC
Autor Radtke, Claudio
Stedile, Fernanda Chiarello
Contido em Salão de Iniciação Científica (11. : 1999 : Porto Alegre). Livro de resumos. Porto Alegre : UFRGS, 1999.
Sessão Novos Materiais I
Assunto Ciências exatas e da terra
Filmes finos
Nitrogênio : Deposição
Silicio : Oxidacao
Tipo Resumo publicado em evento
URI http://hdl.handle.net/10183/85563
Arquivos Descrição Formato
000247442.pdf (30.93Kb) Resumo Adobe PDF Visualizar/abrir

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